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本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种具有倒“V”结构的非极性氮化镓单晶衬底材料及其制备方法和应用。本发明通过将蓝宝石（Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;）衬底清洗清洁后，利用电子...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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