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本公开提供了一种管道组件及化学气相沉积设备，属于半导体制备领域。该管道组件，应用于化学气相沉积设备，管道组件包括：前端管道和连接管道；前端管道包括管道主体和接头，接头位于管道主体的外壁，且与管道主体连通，管道主体的第一端与化学气相沉积设备的...
该专利属于京东方华灿光电（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方华灿光电（苏州）有限公司授权不得商用。

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