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本发明公开了一种掩模板与晶圆固定的方法，涉及掩模板与晶圆固定技术领域，方法包括：利用对准机完成掩模板与晶圆对位，保持掩模板与晶圆介电间隔；将掩模板与晶圆连接静电注入设备，进行静电注入；去除对准机和静电注入设备，保持掩模板与晶圆相互吸引安全固...
该专利属于安徽华鑫微纳集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽华鑫微纳集成电路有限公司授权不得商用。

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