温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种检测背封衬底应力的方法、装置、设备及介质；该方法包括：根据背封前、后的形貌变化获取所述衬底中残余应力造成的第一弯矩；在背封后的衬底表面上的任一采样点，检测所述采样点处的沿深度方向的杨氏模量；根据所述采样点处的沿深度方向的杨氏...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。