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本发明涉及表面形变检测技术领域，公开了一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法。本发明在移动驱动机构驱动下，承载平台带动待检测的半导体加热盘在检测槽的下方移动，在承载平台的移动过程中，遮蔽机构能够遮蔽移动驱动机构，以及固定框架、安装平台和遮蔽...
该专利属于爱利彼半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱利彼半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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