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一种半导体设备气密性检测工装，用以检测半导体设备的气密性，包含：压力传感器；调压阀，与所述压力传感器有连接关系；连接管，分别与所述压力传感器和所述调压阀有连接关系；手阀，与所述调压阀有连接关系。本技术能够解决目前组装工艺中通过保压测试查找泄...
该专利属于浙江亚笙半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江亚笙半导体设备有限公司授权不得商用。

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