下载一种基于环形振子的三自由度微型压电驱动器及激励方法的技术资料

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一种基于环形振子的三自由度微型压电驱动器及激励方法,压电驱动器包括下支撑座、上支撑座、环形振子及球形转子;上支撑座固装在下支撑座顶部,环形振子设置在上支撑座上方,球形转子设置在环形振子上方,在球形转子上设置有标识块。本发明的基于环形振子的三...
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