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一种基于环形振子的三自由度微型压电驱动器及激励方法技术
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文档序号:44908856
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一种基于环形振子的三自由度微型压电驱动器及激励方法,压电驱动器包括下支撑座、上支撑座、环形振子及球形转子;上支撑座固装在下支撑座顶部,环形振子设置在上支撑座上方,球形转子设置在环形振子上方,在球形转子上设置有标识块。本发明的基于环形振子的三...
该专利属于东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学授权不得商用。
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