下载转速传感器和用于制造转速传感器的方法的技术资料

文档序号:44907525

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本发明涉及具有基底和传感器元件的转速传感器,基底具有主延伸平面,传感器元件构造为转子结构,转子结构借助驱动装置以驱动偏转驱动而绕垂直于主延伸平面的驱动轴线扭转振动,绕垂直于驱动轴线的至少一个敏感方向的转速能够借助探测装置基于传感器元件绕垂直...
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