转速传感器和用于制造转速传感器的方法技术

本发明专利技术涉及具有基底和传感器元件的转速传感器，基底具有主延伸平面，传感器元件构造为转子结构，转子结构借助驱动装置以驱动偏转驱动而绕垂直于主延伸平面的驱动轴线扭转振动，绕垂直于驱动轴线的至少一个敏感方向的转速能够借助探测装置基于传感器元件绕垂直于驱动轴线并且垂直于敏感方向的倾翻轴线的倾翻来探测，转子结构包括用作振动质量的外部传感器框架并且包括弹簧结构，弹簧结构在中心区域借助至少一个基底悬挂装置与基底连接，其中，弹簧结构在其在基底悬挂装置上的附接部和其在传感器框架上的附接部之间具有基本区段式笔直延伸的梁元件，每两个前后相随的梁元件在至少五个部位处彼此连接，使得每两个所涉及的梁元件形成至少90°角。本发明专利技术还涉及用于制造转速传感器的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术基于一种具有基底和传感器元件的转速传感器以及一种用于制造这类转速传感器的方法。

技术介绍

1、基于科氏效应在至少一个敏感方向上探测转速信号的转速传感器以多个实施方式和设计而普遍已知。还普遍已知某些转速传感器，在这些转速传感器中传感器元件实施绕着旋转轴线的扭转振动，使得借助被构造为转子结构的传感器元件可以在至少一个敏感方向上探测转速。这种转速传感器的功能原理规定，传感器元件或者说转子结构绕着垂直于基底的旋转轴线进行这种扭矩振动(即绕着垂直于基底主延伸平面的驱动轴线的扭矩振动)并且，当在敏感方向之一上作用转速时绕着倾翻轴线(由于科氏效应的角度)进行倾翻；转子结构的这种倾翻可以经由电子检测方法例如电容式的差分检测和/或压电式的方法进行检测并且结合电子分析评价装置(asic)进行分析评价。

2、然而在已知的所述类型转速传感器的情况下得出关于断裂稳定性、要避免通过驱动偏转引起的复位力的非线性以及制造公差的影响等方面缺点。

技术实现思路

1、本专利技术的任务是，提供一种具有基底和传感器元件的转速传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.转速传感器，具有基底和传感器元件，其中，所述基底具有主延伸平面(100)，其中，所述传感器元件构造为转子结构，所述转子结构借助驱动装置以驱动偏转驱动而绕垂直于所述主延伸平面(100)的驱动轴线(z)进行扭转振动，其中，绕垂直于所述驱动轴线的至少一个敏感方向的转速能够借助探测装置基于传感器元件绕垂直于所述驱动轴线(z)并且垂直于所述至少一个敏感方向的倾翻轴线的倾翻来探测，其特征在于，所述转子结构包括用作振动质量的外部传感器框架(30)并且包括弹簧结构(20)，并且所述弹簧结构(20)在中心区域借助至少一个基底悬挂装置(10)与所述基底连接，其中，所述弹簧结构(20)在其在所述基底悬挂装...

【技术特征摘要】

1.转速传感器，具有基底和传感器元件，其中，所述基底具有主延伸平面(100)，其中，所述传感器元件构造为转子结构，所述转子结构借助驱动装置以驱动偏转驱动而绕垂直于所述主延伸平面(100)的驱动轴线(z)进行扭转振动，其中，绕垂直于所述驱动轴线的至少一个敏感方向的转速能够借助探测装置基于传感器元件绕垂直于所述驱动轴线(z)并且垂直于所述至少一个敏感方向的倾翻轴线的倾翻来探测，其特征在于，所述转子结构包括用作振动质量的外部传感器框架(30)并且包括弹簧结构(20)，并且所述弹簧结构(20)在中心区域借助至少一个基底悬挂装置(10)与所述基底连接，其中，所述弹簧结构(20)在其在所述基底悬挂装置(10)上的附接部(25)和其在所述传感器框架(30)上的附接部(25')之间具有基本区段式笔直延伸的梁元件(22)或者由这些梁元件(22)组成，其中，所述梁元件(22)中的每两个前后相随的梁元件在至少五个部位(21)处如此彼此附接或者彼此连接，使得每两个所涉及的梁元件(22)形成至少90°角。

2.根据权利要求1所述转速传感器，其特征在于，所述转速传感器在所述传感器框架(30)内部包括至少一个止挡和伴随结构(40，50)，其中，该止挡和伴随结构(40，50)设置为用于在所述传感器框架(30)内部实现很大程度均匀的蚀刻环境。

3.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器，其特征在于，所述弹簧结构(20)的所述区段式笔直延伸的梁元件(22)是如此布置的，

4.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器，其特征在于，所述止挡和伴随结构(40，50)具有止挡元件(41，42)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器，其特征在于，所述弹簧结构(20)尤其在...

【专利技术属性】
技术研发人员：OA·普吕茨，M·普特尼克，R·拉姆施佩格尔，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：