温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基板缺陷检测方法及系统，属于半导体领域。该基板缺陷检测方法包括提供一基板；在所述基板的目标位置设置定位标记，所述定位标记包括主图形和辅助图形；确定基板的检测区域，将所述检测区域划分成若干子区域，并获取每一子区域的坐标信息；基...
该专利属于合光光掩模科技（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合光光掩模科技（安徽）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。