下载一种单晶硅片加工的硅片成型切割装置的技术资料

文档序号:44905121

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本发明涉及单晶硅切割技术领域,且公开了一种单晶硅片加工的硅片成型切割装置,包括切割单元包括转动柱,切割机构包括等距块,等距块为一个中间开设有孔洞的长方型块,等距块共设置有五个,每个等距块的一侧都固定连接有一个切割刀,靠近保护基座顶部的等距块...
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