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本申请实施例提供一种TOPCon太阳能电池及其制备方法。一种TOPCon太阳能电池的制备方法包括：在硅衬底背面依次形成隧穿氧化层、初始第一N型多晶硅层和初始第二N型多晶硅层；采用第一非离子轰击氧化法，使初始第一N型多晶硅层和初始第二N型多晶...
该专利属于天合光能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。

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