TOPCon太阳能电池的制备方法及TOPCon太阳能电池技术

本申请实施例提供一种TOPCon太阳能电池及其制备方法。一种TOPCon太阳能电池的制备方法包括：在硅衬底背面依次形成隧穿氧化层、初始第一N型多晶硅层和初始第二N型多晶硅层；采用第一非离子轰击氧化法，使初始第一N型多晶硅层和初始第二N型多晶硅层退火晶化，以形成第一N型多晶硅层和第二N型多晶硅层；同时，在第二N型多晶硅层上生成第一氧化硅层。本申请的技术方案通过采用第一非离子轰击氧化法一次性高温退火结晶氧化处理，使得第一N型多晶硅层和第二N型多晶硅层晶化成型的同时在第二N型多晶硅层上生成第一氧化硅层，减少了对第二N型多晶硅层的界面产生产线损伤的情况，进而有效改善了电池效率衰减的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳能电池，尤其涉及一种topcon太阳能电池的制备方法及topcon太阳能电池。

技术介绍

1、随着我国能源结构的改善，越来越多的新能源替代了传统的火力发电，其中太阳能便是一种可再生的新能源，太阳能发电的安装形式简单，对场地的要求小，适合于各种场合的使用需求，因此被广泛的应用在各种领域内。

2、topcon技术由于其工艺路线与传统电池产线极高的兼容性以及其明显的效率增益，成为目前最有潜力的新型高效电池技术之一，其相关研究逐日增加。随着技术的发展，topcon电池的可靠性也越来越被更多人关注。topcon电池在正背膜薄膜制备的过程中均存在离子轰击表面，使得表面产生损伤，也会导致topcon电池效率衰减的问题。

3、需要说明的是，上述内容并不必然是现有技术，也不用于限制本申请的专利保护范围。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种topcon太阳能电池的制备方法及topcon太阳能电池，以解决或缓解上面提出的一项或更多项技术问题。

2、第一方面，本申请实施例提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

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4.根据权利要求1所述的TOPCon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

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6. 根据权利要求1所述的TOPCon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

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【技术特征摘要】

1.一种topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

6. 根据权利要求1所述的topcon太阳能电池的制备方法，其特征在于，

7.根据权利要求1至6任一项所述的topcon...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪东，丁留伟，邹杨，汪宏迪，苏晓峰，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：