下载一种晶体生长炉用液面保温装置及晶体生长炉的技术资料

文档序号:44904404

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本发明涉及一种晶体生长炉用液面保温装置及晶体生长炉。它包括盖板、设于所述盖板上表面的吊装接头以及设于所述盖板下表面上的保温体,所述盖板上还开设有同时贯穿所述保温体的ccd观察口。本发明通过在水冷屏底部的投料口上设置液面保温装置来避免坩埚内硅...
该专利属于浙江晶阳机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶阳机电股份有限公司授权不得商用。

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