下载一种晶硅粉料的洁净干燥系统的技术资料

文档序号:44901814

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本技术涉及粉体洁净干燥技术领域,具体涉及一种晶硅粉料的洁净干燥系统,包括:主体框架,作为载荷承载部件;传动机构,与主体框架配合并用以放置和运输料篮;谐振体,用以提供对粉料进行干燥的空腔环境;真空系统,用以对谐振体抽真空;微波组件,用以产生和...
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