下载快速旋转的真空泵的技术资料

文档序号:4489786

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本发明涉及一种快速旋转的真空泵,其具有通过电驱动马达驱动的磁性支撑的转子,所述转子具有确定的恒定的额定转动频率(f↓[nom])。所述转子和转子轴承设计成使得弯曲临界的反向转动共振频率(f↓[crit])处于所述额定转动频率(f↓[nom]...
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