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本申请涉及化学机械研磨领域，公开了一种化学机械研磨装置，包括：机体，其内部安装有研磨头和清洗刷；研磨组件，其安装在机体的内部，用于对部件进行研磨；驱动机构一，其安装在研磨组件的内部，用于带动转板进行旋转，所述转板的一面安装有研磨垫；驱动机构...
该专利属于太原科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原科技大学授权不得商用。

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