下载蒸发源和蒸镀装置的技术资料

文档序号:44897200

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本发明公开了一种蒸发源和蒸镀装置,涉及真空蒸镀技术领域,其中,蒸发源用于向位于所述蒸发源下方的基片进行镀膜,所述蒸发源包括壳体、多个反应料槽及抽真空组件。所述壳体形成有气源室,所述壳体设有连通所述气源室的喷嘴;每一所述反应料槽通过一运输通道...
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