下载一种差压传感器敏感结构的技术资料

文档序号:44896267

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本发明涉及压力传感器技术领域,提供一种差压传感器敏感结构,其包括ASIC调理芯片、上基板、下基板和感压膜,上基板和下基板相对且间隔设置,ASIC调理芯片设于上基板背离下基板的一侧,感压膜设于上基板和下基板之间,上基板、感压膜和下基板键合连接...
该专利属于北京晨晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京晨晶电子有限公司授权不得商用。

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