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本申请涉及晶体加工的领域,具体涉及一种拉晶炉装置,所述装置包括:炉体,所述炉体中设置有容纳硅熔体的坩埚;磁场部件,所述磁场部件设于所述炉体外部,用于生成穿过所述坩埚及所述硅熔体的水平磁场;驱动件,所述驱动件设于所述炉体外部,所述驱动件用于驱...该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。
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本申请涉及晶体加工的领域,具体涉及一种拉晶炉装置,所述装置包括:炉体,所述炉体中设置有容纳硅熔体的坩埚;磁场部件,所述磁场部件设于所述炉体外部,用于生成穿过所述坩埚及所述硅熔体的水平磁场;驱动件,所述驱动件设于所述炉体外部,所述驱动件用于驱...