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本发明提供一种高速、高频及大功率的晶圆信号量测装置，其包含晶圆卡盘模块、探针卡模块以及测试单元。晶圆卡盘模块包含晶圆卡盘及依序设置于晶圆卡盘上的晶圆载板及弹性导电圈。晶圆载板承载晶圆并电性连接晶圆的第一面及弹性导电圈。弹性导电圈围绕于晶圆。...
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