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具有沟槽式电容器的半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:4488050
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本发明涉及一种半导体装置及其制造方法,其中所述半导体装置具有布置在衬底(1)上的集成电路(2)。所述集成电路(2)构造在所述衬底的前面且至少一个电容器(20)连接到所述集成电路,其特征在于,所述至少一个电容器被设计为沟槽(3)中的单纵深结构...
该专利属于弗劳恩霍弗应用技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过弗劳恩霍弗应用技术研究院授权不得商用。
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