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本发明的SiC基板，含有3×10<supgt;14</supgt;cm<supgt;‑3</supgt;以上且1×10<supgt;15</supgt;cm<supgt;‑3</supgt;以...
该专利属于株式会社力森诺科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社力森诺科授权不得商用。

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