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本技术属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜用靶材固定装置，通过固定框组和活动框组的配合，在安装固定靶材时能够更加方便灵活，安装靶材时能够通过嵌合框与底板进行嵌合限位实现悬挂，进而无需人为举升靶材，螺纹环与匹配窗之间配合能够起到灵活调整...
该专利属于苏州纳丰真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳丰真空技术有限公司授权不得商用。

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