【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜，具体涉及一种真空镀膜用靶材固定装置。
技术介绍
1、靶材是用于真空镀膜技术中一种关键材料，通过离子或原子流在真空中轰击靶材表面，使靶材的原子或分子被喷射出来并沉积到基板上，形成薄膜可以使得产品具有全新的功能性质。
2、而靶材作为消耗品，在进行真空镀膜时，往往需要对靶材进行拆装更换以满足不同镀膜需要和确保靶材的使用稳定，目前常规的靶材安装手段大多采用螺栓连接，但这样的方式才做繁琐，拆装时间过长，因此也有利用如卡扣等扣合件进行固定的方式，但此类方式的灵活度不高，且在面对部分镀膜设备靶材在设备内上端时仍然存在着安装不便的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是：旨在提供一种真空镀膜用靶材固定装置，用于解决
技术介绍
中提到的问题。
2、为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
3、一种真空镀膜用靶材固定装置，包括阴极板和底板，所述底板设于阴极板下端，所述底板中部开有与阴极板对应的连接窗，所述底板还设有连接机构；
4、所述连接机...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜用靶材固定装置，包括阴极板和底板，所述底板设于阴极板下端，其特征在于：所述底板中部开有与阴极板对应的连接窗，所述底板还设有连接机构；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用靶材固定装置，其特征在于：所述限位器包括按压头、连接板、锁舌和弹性件，所述嵌合框开有与限位器相匹配的C形安装腔，所述C形安装腔的开口朝向远离嵌合框中部一侧且贯穿嵌合框侧部，所述弹性件设于C形安装腔内，所述连接板滑动设于C形安装腔内且位于弹性件远离嵌合框中部一侧，所述锁舌和所述按压头分别设于连接板上下侧且均伸出C形安装腔，所述连接窗内开有与锁舌相匹配的定位口。
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【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用靶材固定装置，包括阴极板和底板，所述底板设于阴极板下端，其特征在于：所述底板中部开有与阴极板对应的连接窗，所述底板还设有连接机构；
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用靶材固定装置，其特征在于：所述限位器包括按压头、连接板、锁舌和弹性件，所述嵌合框开有与限位器相匹配的c形安装腔，所述c形安装腔的开口朝向远离嵌合框中部一侧且贯穿嵌合框侧部，所述弹性件设于c形安装腔内，所述连接板滑动设于c形安装腔内且位于弹性件远离嵌合框中部一侧，所述锁舌和所述按压头分别设于连接板上下侧且均伸出c形安装腔，所述连接窗内开有与锁舌相匹配的定位口。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜用...
【专利技术属性】
技术研发人员：付礼明，刘传省，
申请(专利权)人：苏州纳丰真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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