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本技术提供了一种半导体设备的机械臂及半导体设备，包括：机械臂本体，具有相对设置的安装端和自由端，安装端通过驱动机构可转动地设于半导体设备内，自由端可位置移动以用于运输晶圆；晶圆拿取手，通过翻转机构设于自由端上，翻转机构用于驱动晶圆拿取手旋转...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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