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本发明属于原子层沉积技术领域，涉及一种热型原子层沉积装置，包括：反应腔室，用于提供反应空间；抽气泵，用于对所述反应腔室的内部抽取真空；所述抽气泵与所述反应腔室连接；气体检测仪，用于检测所述反应腔室内的气体；所述气体检测仪设置于所述反应腔室内...
该专利属于嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心授权不得商用。

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