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本发明涉及一种用于激光防护的装置(14a，14b)，具有用于反射和/或吸收激光束(18)的光学元件(16a，16b)并具有传感器(30a，30b)，所述传感器布置在光学元件(16a，16b)上或与光学元件(16a，16b)隔开间距布置，以探...
该专利属于通快激光系统半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通快激光系统半导体制造有限公司授权不得商用。

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