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本发明涉及氧化物粉体制备技术领域，公开了生产装置、生产方法及氧化物粉体，生产装置包括：壳体，壳体具有容纳腔，壳体上设有第一进液口和出液口，第一进液口用于通入氧化物前驱体；加热结构，用于加热氧化物前驱体，以除去氧化物前驱体内的醇类物质和水。本...
该专利属于河北硅研电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北硅研电子材料有限公司授权不得商用。

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