【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氧化物粉体制备，具体涉及生产装置、生产方法及氧化物粉体。
技术介绍
1、传统获取氧化物粉体的方式为开采氧化物矿石，但氧化物矿石中含有多种杂质，且在对氧化物进行提纯时还会引入新的杂质，导致氧化物的纯度非常低。
2、而采用将氧化物前驱体得到的凝胶干燥和煅烧的方法得到的合成氧化物粉体，几乎不含有金属杂质，纯度非常高。具体的合成方法为：使用氧化物前驱体制备氧化物溶胶，将氧化物溶胶进行造粒，得到氧化物凝胶，将氧化物凝胶干燥并进行煅烧，以除去碳和羟基，得到氧化物粉体，然后对氧化物粉体进行机械粉碎得到符合要求的球形颗粒。但是采用合成氧化物粉体的方式获取的氧化物粉体仍然会残留部分碳和羟基，且煅烧时消耗的能源量较大。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种生产装置、生产方法及氧化物粉体，以解决采用合成氧化物粉体的方式获取的氧化物粉体仍然会残留部分碳和羟基，且煅烧时消耗的能源量较大的问题。
2、第一方面，本专利技术提供了一种生产装置，包括：
3、壳体...
【技术保护点】
1.一种生产装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述壳体(1)上设有连通所述容纳腔与外界的进气口(13)；
3.根据权利要求2所述的生产装置，其特征在于，所述储气件与所述进气口(13)之间设有控制件，用于调节所述水蒸气的压力。
4.根据权利要求2所述的生产装置，其特征在于，所述壳体(1)上设有连通所述容纳腔与外界的出气口(14)，所述出气口(14)处固定设有引风件。
5.根据权利要求4所述的生产装置，其特征在于，所述出气口(14)沿所述壳体(1)的延伸长度方向间隔设有至少两个；
...【技术特征摘要】
1.一种生产装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述壳体(1)上设有连通所述容纳腔与外界的进气口(13)；
3.根据权利要求2所述的生产装置，其特征在于，所述储气件与所述进气口(13)之间设有控制件，用于调节所述水蒸气的压力。
4.根据权利要求2所述的生产装置，其特征在于，所述壳体(1)上设有连通所述容纳腔与外界的出气口(14)，所述出气口(14)处固定设有引风件。
5.根据权利要求4所述的生产装置，其特征在于，所述出气口(14)沿所述壳体(1)的延伸长度方向间隔设有至少两个；
6.根据权利要求1所述的生产装置，其特征在于，所述加热结构为加热件，固定于所述壳体(1)的内侧壁，用于加热所述壳体(1)内的空气以加热所述氧化物前驱体。
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【专利技术属性】
技术研发人员：朱斌，仵靖，赵丽晓，
申请(专利权)人：河北硅研电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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