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一种用于相对于衬底的不同的第二表面在衬底的第一表面上选择性地形成氧化铝的方法、系统和设备，该过程包括一个或多个超级循环，该超级循环包括子循环：a)通过一个或多个选择性沉积子循环，相对于衬底的不同的第二表面在衬底的第一表面上选择性地沉积氮化铝...
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