温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及SIC MOSFET器件清洗技术领域，公开了一种SIC MOSFET器件加工清洗装置，包括清洗箱和清洗机构；所述清洗箱的内侧设有隔板；所述清洗机构包括移动车、移动板、清洗盒和清洁组件；所述清洁组件包括加固板、收集盒、安装架、清洁泵...
该专利属于苏州创芯致尚微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州创芯致尚微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。