温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种具有自适应控制功能的光刻机电机系统，控制模块、传感器，其中：所述传感器实时采集电机的运行数据，将采集到的电机运行参数传输给控制模块；所述控制模块接收传感器采集的电机运行参数，并通过自适应控制算法能够根据历史数据和实时反馈，自动...
该专利属于苏州励索精密装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州励索精密装备科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。