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本发明涉及离子注入领域，特别是涉及一种新型离子注入机及其控制方法，包括离子发射源及机械臂；所述离子发射源用于发射离子注入束；所述机械臂包括静电夹及第一电荷检测器；所述静电夹与所述第一电荷检测器设置在所述机械臂朝向所述离子发射源的表面；所述静...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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