下载一种硅基超表面光谱探测器的制备及光谱探测方法的技术资料

文档序号:44814231

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本发明涉及一种硅基超表面光谱探测器的制备及光谱探测方法,属于光电探测器件技术领域。硅基超表面光谱探测器基于微纳超表面制备得到,首先将图像传感器芯片进行处理以去除拜耳层,然后在图像传感器芯片表面旋涂UV胶,再将硅基超表面倒扣于UV胶上,并利用...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。

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