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本技术提出一种具有减震结构的光刻机镜组平台，其包括支撑承载组件、竖向驱动组件、竖向减震组件、镜组载托组件、横向驱动组件及纵向驱动组件，该光刻机镜组平台使用气浮减震器，在竖向运动过程中能够实现有效的减震，减少外部震动或冲击对光刻机镜组造成的潜...
该专利属于上海卓晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海卓晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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