下载剥离治具及衬底剥离设备的技术资料

文档序号:44761779

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本申请提供一种剥离治具及衬底剥离设备,涉及剥离技术领域。剥离治具包括吸附外框和吸附板,所述吸附外框包括边框,所述边框的内侧围合形成凹槽,所述吸附板设置于所述凹槽,且所述吸附板设有通气孔,所述通气孔设有多个,多个所述通气孔在所述吸附板上均匀分...
该专利属于深圳市思坦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市思坦科技有限公司授权不得商用。

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