【技术实现步骤摘要】
本申请涉及剥离，尤其涉及一种剥离治具及衬底剥离设备。
技术介绍
1、llo(laser lift-off，激光剥离技术)是利用激光能量分解gan/蓝宝石接口处的gan缓冲层，从而实现led外延片从蓝宝石衬底分离。在激光分离后，还需借用工具将衬底剥离。但相关技术中的剥离工具，在剥离过程中，容易导致micro-led结构损伤。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供了一种剥离治具及衬底剥离设备。
2、本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种剥离治具，包括：
4、吸附外框，所述吸附外框包括边框，所述边框的内侧围合形成凹槽；
5、吸附板，所述吸附板设置于所述凹槽，且所述吸附板设有通气孔，所述通气孔设有多个，多个所述通气孔在所述吸附板上均匀分布，所述通气孔用于吸附待剥离件的表面，所述边框与所述待剥离件的边侧贴合。
6、在第一方面的其中一个实施例中，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基...
【技术保护点】
1.一种剥离治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基板围合形成所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板与所述基板之间设有通气间隙。
4.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框背离所述吸附板的一侧设有抽气口，所述抽气口与所述通气间隙连通。
5.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述基板设置有台阶结构，所述吸附板安装于所述台阶结构背离所述基板的一侧，以形成所述通气间隙。p>
6.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种剥离治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框还包括基板，所述边框设置于所述基板的边侧，所述边框与所述基板围合形成所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附板与所述基板之间设有通气间隙。
4.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述吸附外框背离所述吸附板的一侧设有抽气口，所述抽气口与所述通气间隙连通。
5.根据权利要求3所述的剥离治具，其特征在于，所述基板设置有台阶结构，所述吸附板安装于所述台阶结构背离所述基板的一侧，以形成所述通气间隙。
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：张珂，丁香荣，
申请(专利权)人：深圳市思坦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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