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一种原位液相辅助激光高效改性碳化硅基片的方法，包括：激光液相下改性，将待改性的SiC基片放置于液相下的载物台上固定，使用皮秒激光器辐照待改性SiC基片表面，实现局部和全局烧蚀/改性；载物台装置，载物台装置可自由升降，用于实现激光束聚焦位置的...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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