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堆叠石墨烯等离子体太赫兹光发射器及其制备和应用制造技术
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文档序号:44753999
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本发明公开一种堆叠石墨烯等离子体太赫兹光发射器及其制备和应用。该光发射器,使用如下方法在SiO<subgt;2</subgt;衬底上堆叠石墨烯膜而成:对沉降有石墨烯的铜箔浸泡在刻蚀液中进行铜箔的初步刻蚀;去除铜箔下层石墨烯,得到...
该专利属于北京慧养道健康科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京慧养道健康科技有限公司授权不得商用。
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