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一种极紫外光刻光源产生方法和装置，方法包括在真空环境中生成微米级厚度均匀稳定的金属液膜靶材，使用2微米波长激光束聚焦轰击靶材产生极紫外光；装置包括2微米固体激光器模块、液膜生成与维持模块、激光聚焦与能量耦合模块以及极紫外光收集与传输模块构成...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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