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将在保护膜上形成的能够通过离子束蚀刻或甲醇蚀刻从而进行蚀刻的反射型掩模坯料的吸收膜图案化，其中，通过设有与保护膜和吸收膜两者接触的蚀刻阻止膜和吸收膜上的第一硬掩模膜，并使用第一硬掩模膜的图案作为蚀刻掩膜，通过离子束蚀刻或甲醇蚀刻将吸收膜图案...
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