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本申请提供一种半导体清洗设备及其排风装置，排风装置包括排风管路和压力调节机构，其中，排风管路用于与半导体清洗设备的药液收集机构相连，用于半导体清洗设备排风；压力调节机构包括阻尼部和驱动部，阻尼部呈板状，并设置在排风管路中，驱动部固定在排风管...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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