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一种用于晶圆老化测试的夹具，涉及晶圆测试设备技术领域，夹具包括夹具探针板卡组件、夹具卡盘组件和加热吸盘组件。夹具探针板卡组件包括板卡托板、板卡转接板、探针固定板和螺栓组件，夹具卡盘组件包括卡盘底座，加热吸盘组件从上到下依次包括加热吸盘、加热...
该专利属于杭州中安电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中安电子股份有限公司授权不得商用。

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