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本发明涉及半导体器件散热技术领域，特别是涉及一种具有三级多孔散热的两相冷板及其加工方法。本发明公开了一种具有三级多孔散热的两相冷板，包括基板，基板内设有微流道。本发明一方面基于拓扑优化的微流道来调控流量分配，另一方面通过在微流道内底加工出微...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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