下载一种卧式晶圆集中清洗设备的技术资料

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本发明公开了一种卧式晶圆集中清洗设备,涉及晶圆清洗技术领域,包括底座,所述底座的上端固定连接有竖架,所述竖架的侧壁上设有移动槽,所述移动槽的内部设有移动板,所述竖架的顶部安装有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的伸缩端向下贯穿竖架并固定连接在移动板...
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