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本申请实施例提供极紫外光产生方法、极紫外光源组件及光学系统，其中所述极紫外光产生方法包括：利用磁约束装置产生等离子体；在等离子体满足预设注入条件的情况下，控制重金属注入装置向磁约束装置中注入指定重金属，以使指定重金属在磁约束装置中与等离子体...
该专利属于陕西星环聚能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西星环聚能科技有限公司授权不得商用。

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