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本发明属于真空量测领域，涉及用于晶圆量测的精确定位装置及定位方法。晶圆精确定位装置包括安装于传递腔中的驱动机构、定位机构和承载机构；驱动机构用于将降落于承载机构上的晶圆推向定位机构，驱动机构包括弹片、衔铁、推块和电磁铁，弹片固定于传递腔中并...
该专利属于苏州矽视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州矽视科技有限公司授权不得商用。

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