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本申请公开了一种单晶硅电极的吸附固定装置，包括吸附盘以及吸气组件；所述吸附盘上开设有吸附孔，所述吸附盘具有用于承载单晶硅电极的承载面，所述承载面上开设有环形的吸附槽，所述吸附槽与所述吸附孔连接；吸气组件与所述吸附孔连通，所述吸气组件用于为所...
该专利属于长沙华实半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙华实半导体有限公司授权不得商用。

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