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本技术公开了一种半导体加工用夹持结构，涉及半导体加工技术领域，包括工作台，所述工作台上转动连接有立柱，所述工作台内安装有双向电机，所述双向电机与所述立柱传动连接。本技术通过放置箱、放置腔、夹持板、推送组件和下料组件之间的配合设置，利用放置腔...
该专利属于南通捷晶半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通捷晶半导体技术有限公司授权不得商用。

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